На этапе литографии несоответствие характеристик мощности лампы вынуждает оператора искать компромиссы. Либо приходится снижать мощность, рискуя недостаточной экспозицией, либо повышать напряжение, что приводит к ускоренному износу лампы. В любом случае это влечет за собой расходы на отходы, дополнительную обработку и периоды простоя, которые трудно спланировать заранее.
Мы производим УФ-лампы для полупроводниковой литографии, которые можно использовать без дополнительных настроек. Они адаптированы под характеристики вашего оборудования, так что их мощность соответствует требованиям оборудования в каждый конкретный момент времени.
Что действительно важно
Начинаем с стабильного светового потока и системы отражателей, которая обеспечивает постоянную интенсивность освещения на всей площади экспозиции. Благодаря этому спектральный состав света остается стабильным, а реакция фотоинициатора — предсказуемой при производстве разных партий продукции.
Лампа сохраняет высокую интенсивность света на протяжении тысяч часов работы, при этом происходит минимальное снижение её мощности. Электрическая настройка позволяет точно контролировать внутреннее напряжение, чтобы лампа работала стабильно, без возникновения «горячих точек» или ограничений тока.
Почему это важно в производстве
Когда лампа и блок управления совместимы, можно быть уверенным в качестве процесса экспозиции. Энергия, необходимая для экспозиции, остается стабильной, критические размеры деталей сохраняются, а количество дефектов, связанных с экспозицией, снижается.
Длительный срок службы лампы и низкое снижение её мощности означают меньшее количество замен ламп. Это способствует сохранению вакуума в камере и сокращает время на профилактическое обслуживание. Стабильная интенсивность света также обеспечивает стабильное скрепление молекул на пластине, что снижает количество дефектов.
Кроме того, сэкономляется энергия, поскольку лампа работает с максимальной эффективностью, а не под действием неразумно заданных параметров.
Вот практические детали
Для правильной настройки необходимо согласовать параметры блока управления и интерфейса подключения с характеристиками лампы. Пожалуйста, сообщите нам модель оборудования и требуемый диапазон экспозиции.
Мы проведем краткую настройку, чтобы определить оптимальные параметры напряжения и проверить интенсивность света на всей площади экспозиции. Возможна работа без озона, но это приведет к незначительному снижению мощности лампы, но зато к более длительному сроку её службы. Сообщите нам, что для вас важнее, и мы настроим лампу соответственно.