
בתהליך הליתוגרפיה, עקומת ההספק של הנורה אינה תואמת את דרישות המכונה. יש לבחור בין שתעבדו בהספק נמוך יותר, ובכך לסכן את איכות העיבוד, או שתעלו את המתח – ובכך לקצר את חיי הנורה. בכל מקרה, עליכם לשלם את המחיר בצורה של חומרים חסרי תועלת, עבודות תיקון נוספות, וזמן עצירה שאי אפשר לתכנן אותו מראש.
אנו מייצרים נורות UV לשימוש בליתוגרפיה של שבבים, נורות שאינן פשוט ניתן להתקין בקלות. הן מותאמות חשמלית לעקומת ההספק של המכונה שלכם, נקודה בנקודה.
מה באמת חשוב בתהליך הייצור אנו מתחילים עם קשת חשמלית יציבה, יחד עם מערכת החזרה ששומרת על רמת החשיפה אחידה בכל אזור העיבוד. כך, התגובה של החומרים הפוטואיניציאטוריים נשארת אחידה ממלאי למלאי.
הנורה שומרת על עוצמה גבוהה עם ירידה מינימלית בעוצמה, כך שתקבלו ערכים צפויים של מג’אוול/סמ”ר לשעה, וזאת לאורך אלפי שעות. ההתאמה החשמלית מאפשרת לנו לשלוט במתח הפנימי של הנורה, כך שהיא תפעל בצורה יעילה, ללא נקודות חום או מגבלות בזרם.
למה זה חשוב בייצור כאשר הנורה והמנוע שלה מותאמים זה לזה, ניתן לשלוט בתהליך העיבוד בצורה טובה. רמת החשיפה נשארת אחידה, הממדים החשובים נשמרים, והפגמים הנגרמים כתוצאה מהחשיפה פוחתים.
חיי הנורה הארוכים והירידה המינימלית בעוצמה מאפשרים שימוש בנורות לאורך זמן. זה מגן על איכות הוואקום בחדר העיבוד ומפחית את זמן התחזוקה. העוצמה היציבה של הנורה מבטיחה קישורים אחידים בין החומרים, כך שיהיו פחות חורים וההידבקות בין החומרים תהיה טובה יותר.
בנוסף, חוסכים אנרגיה, מכיוון שהנורה פועלת ביעילות המיועדת לה, ולא נאלצת לעבוד בעקומת הספק שאינה תואמת אותה.
הפרטים הטכניים ההתאמה החשמלית דורשת שיתוף פעולה עם פרופיל הבלאסט/המנוע וממשק החיבור של המכונה. שלחו לנו את מודל המכונה ואת טווח החשיפה הרצוי.
אנו נבצע בדיקה קצרה כדי לוודא את עקומת המתח ואת רמת העוצמה בכל אזור העיבוד. ניתן לפעול ללא אוזון, אך זה יגרום לירידה קלה בעוצמה – אמרו לנו מה חשוב לכם יותר, ואנו נהגה את הנורה בהתאם.