Sur le poste de lithographie, une courbe de puissance inadaptée de la lampe oblige à trouver un compromis. Soit on fonctionne en dessous des spécifications prévues, ce qui entraîne une sous-exposition, soit on augmente la tension, ce qui abrége la durée de vie de la lampe. Dans tous les cas, il faut payer le prix en termes de déchets, de travaux de réparation et d’arrêts de production imprévus.
Nous fabriquons des lampes UV pour la lithographie de semi-conducteurs qui ne se contentent pas d’être simplement montées en place. Elles sont conçues électriquement pour correspondre parfaitement à la courbe de puissance de votre machine.
Ce qui est vraiment important au niveau technique Nous commençons par un arc électrique très stable, ainsi que par un système de réflexion qui permet de maintenir une intensité maximale sur toute la surface à exposer. En maintenant une sortie spectrale constante, la réponse du photoinitateur reste fiable d’un lot à l’autre.
La lampe conserve une haute intensité avec une faible dégradation, ce qui permet d’obtenir des valeurs prévisibles en mJ/cm², heure après heure – même après des milliers d’heures d’utilisation. La personnalisation électrique nous permet de régler la tension interne afin que la lampe fonctionne correctement, sans points chauds ni limitations de courant.
Pourquoi c’est important en production Lorsque la lampe et le driveur sont bien synchronisés, on obtient un contrôle du processus fiable. L’énergie d’exposition reste constante, les dimensions critiques sont préservées, et les défauts liés à l’exposition diminuent.
Une longue durée de vie et une faible attenuation signifient moins de changements de lampe. Cela permet de préserver l’intégrité du vide dans la chambre de traitement et de réduire les heures de maintenance préventive. Une sortie stable garantit également une liaison cohérente entre les différentes couches du wafers, ce qui réduit le nombre de défauts et améliore l’adhérence entre les différentes couches.
De plus, on économise de l’énergie, car la lampe fonctionne à son efficacité optimale, sans être forcée à suivre une courbe inadaptée.
Voici les détails pratiques La personnalisation électrique nécessite une coordination avec les caractéristiques du ballast/driver et l’interface de connexion. Veuillez nous indiquer le modèle de la machine ainsi que la fenêtre d’exposition souhaitée.
Nous effectuerons une courte mise en service pour ajuster la courbe de tension et vérifier l’intensité sur l’ensemble de la surface à exposer. Une utilisation sans ozone est possible, mais cela entraîne une légère baisse de l’intensité maximale en échange d’une durée de vie accrue de la chambre. Dites-nous ce qui est le plus important pour vous, et nous ajusterons la lampe en conséquence.