半導体リソグラフィ用紫外線ランプ

リソグラフィーの現場では、ランプの出力曲線が適切でないため、操作に苦労します。仕様以下で露光を行うと、露光不足になるリスクがあります。また、電圧を上げすぎると、ランプの寿命が短くなってしまいます。どちらにしても、廃棄処分や再作業、計画不可能な停止時間といったコストが発生します。 私たちが製造する半...