Na área de litografia, uma curva de potência da lâmpada que não é compatível com as especificações do equipamento obriga o operador a tomar decisões difíceis. Ou se trabalha abaixo das especificações, correndo o risco de subexposição, ou então aumenta-se a tensão, o que acelera o desgaste da lâmpada. Em qualquer caso, isso resulta em custos adicionais devido à necessidade de reprocessamento e paradas não planejadas no processo de produção.
Nós fabricamos lâmpadas UV para uso em litografia de semicondutores que não são simplesmente encaixadas no equipamento. Elas são ajustadas eletronicamente para se adaptarem perfeitamente à curva de potência do seu equipamento, ponto a ponto.
O que realmente importa por trás disso tudo Começamos com um arco elétrico extremamente estável e um sistema de refletores que mantém a intensidade de irradiação constante em todo o campo de exposição. Isso garante que a resposta do fotoiniciador seja consistente de lote em lote.
A lâmpada mantém alta intensidade com baixa degradação, permitindo que você obtenha valores previsíveis de mJ/cm², hora após hora – mesmo após milhares de horas de uso. O ajuste elétrico permite que a tensão interna seja ajustada de modo a garantir que a lâmpada funcione corretamente, sem pontos quentes ou limitações na corrente.
Por que isso é importante na produção Quando a lâmpada e o driver estão compatíveis, é possível ter um controle preciso do processo. A energia de exposição fica consistente, as dimensões críticas são mantidas, e os defeitos relacionados à exposição diminuem.
A longa vida útil e a baixa atenuação significam menos trocas de lâmpadas. Isso protege a integridade do vácuo na câmara e reduz o tempo necessário para manutenção preventiva. A saída estável também garante uma reticulação uniforme, diminuindo assim a formação de buracos na superfície do wafer e melhorando a adesão entre as camadas do wafer.
Além disso, você economiza energia, pois a lâmpada funciona com sua eficiência projetada, em vez de ser forçada a funcionar segundo uma curva inadequada.
Aqui estão os detalhes práticos O ajuste elétrico personalizado requer coordenação com o perfil do balastro/driver e com a interface de conexão. Por favor, envie-nos o modelo do equipamento e o intervalo de exposição desejado.
Vamos realizar um teste rápido para definir a curva de tensão e verificar a intensidade em todo o campo de exposição. É possível operar sem ozônio, mas isso significa uma redução ligeira na intensidade máxima, em troca de uma vida útil maior da câmara. Nos diga o que é mais importante para você, e vamos ajustar a lâmpada de acordo.