Dalam proses litografi, kurva kuasa lampu yang tidak sesuai akan menyebabkan masalah. Anda boleh memilih untuk menggunakan kuasa yang lebih rendah, tetapi ini akan meningkatkan risiko kegagalan proses pengimejan. Atau, anda boleh meningkatkan voltan, tetapi ini akan mempercepatkan kerosakan pada lampu tersebut. Dalam kedua-dua kes, anda perlu menanggung kos yang tinggi akibat pembaziran bahan, kerja-kerja pembaikan, dan masa henti yang tidak dapat diramalkan.
Kami menghasilkan lampu UV untuk digunakan dalam proses litografi semikonduktor. Lampu-lampu ini direka khusus agar sesuai dengan kurva kuasa mesin tersebut, dari segi voltan dan intensiti cahaya.
Apa yang benar-benar penting
Kita bermula dengan sistem reflektor yang stabil, agar intensiti cahaya dapat dikekalkan secara konsisten di seluruh kawasan yang dikenakan pengimejan. Dengan cara ini, respons fotoinisator juga akan tetap konsisten dari satu batch ke batch yang lain.
Lampu ini mampu mengekalkan intensiti cahaya yang tinggi dengan penurunan yang minimum. Ini membolehkan kita mendapatkan hasil yang konsisten dari masa ke masa, walaupun selepas ribuan jam penggunaan. Penyesuaian elektrik membolehkan kita menyesuaikan voltan dalaman lampu supaya ia berfungsi dengan baik, tanpa adanya titik panas atau batasan arus.
Mengapa ini penting dalam proses pengeluaran
Apabila lampu dan pemacunya disesuaikan dengan betul, proses pengimejan akan menjadi lebih terkawal. Energi yang digunakan untuk pengimejan akan tetap konsisten, dimensi komponen akan kekal stabil, dan kecacatan yang berkaitan dengan pengimejan akan berkurangan.
Jangka hayat lampu yang panjang dan penurunan intensiti yang minimum bermakna kita perlu menukar lampu kurang kerap. Ini seterusnya melindungi integriti vakum dalam ruang pengimbasan dan mengurangkan masa yang diperlukan untuk penyelenggaraan. Output yang stabil juga memastikan proses pengikatan antara komponen berlaku dengan baik, sehingga mengurangkan bilangan lubang kecil pada wafer.
Selain itu, penggunaan tenaga juga dapat dikurangkan, kerana lampu beroperasi pada kecekapan yang ditetapkan, bukan pada kurva kuasa yang tidak sesuai.
Butiran praktikal
Penyesuaian elektrik memerlukan koordinasi dengan profil balast/pemacu serta antaramuka sambungan. Sila berikan model mesin dan julat waktu pengimejan yang diinginkan. Kami akan melakukan ujian singkat untuk menyesuaikan kurva voltan dan memastikan intensiti cahaya yang konsisten. Operasi tanpa ozon juga memungkinkan, tetapi ia akan mengurangkan sedikit output puncak, namun akan memanjangkan jangka hayat lampu. Beritahu kami apa yang paling penting bagi anda, dan kami akan menyesuaikan lampu mengikut keperluan anda.