Below you will find pages that utilize the taxonomy term “반도체” 반도체 리소그래피용 UV 램프 리소그래피 공정에서는 램프의 출력 곡선이 일치하지 않아 어려움이 생깁니다. 한 가지 방법은 규격 이하로 작동시켜 과노출을 감수하는 것이고, 다른 한 가지 방법은 전압을 높여 램프의 수명을 단축시키는 것입니다. 어느 쪽이든 결국 폐기물 처리 비용, 재작업 비용, 그리고... Read more...
반도체 리소그래피용 UV 램프 리소그래피 공정에서는 램프의 출력 곡선이 일치하지 않아 어려움이 생깁니다. 한 가지 방법은 규격 이하로 작동시켜 과노출을 감수하는 것이고, 다른 한 가지 방법은 전압을 높여 램프의 수명을 단축시키는 것입니다. 어느 쪽이든 결국 폐기물 처리 비용, 재작업 비용, 그리고... Read more...
