用于半导体光刻的紫外线灯

在光刻生产中，如果灯具的功率曲线与机器的要求不匹配，那么操作起来就会很困难。要么选择低于标准值的功率，从而增加曝光不足的风险；要么提高电压，但这样会缩短灯具的使用寿命。无论哪种情况，都会导致废品产生、需要返工，以及无法预知的停机时间。 我们为半导体光刻工艺设计的紫外线灯并非简单地直接安装使用即可。...