На поверхні обладнання для літографії непідходяща крива потужності лампи змушує вас шукати компроміси. Ви можете або працювати при меншій потужності, ризикуючи недостатньою експозицією, або підвищити напругу, що призведе до прискореного зносу лампи. У будь-якому разі ви будете платити за це втратами матеріалу, необхідністю повторної обробки та періодами простою, які неможливо передбачити.
Ми виробляємо УФ-лампи для напівпровідникової літографії, які можна легко інтегрувати в обладнання. Вони сконструйовані таким чином, щоб їхня електрична характеристика точно відповідала кривій потужності вашого обладнання.
Що насправді має значення
Ми починаємо з максимально стабільного процесу світіння та системи відбиття світла, яка забезпечує однаковий рівень освітлення по всій площі обробки. Це дозволяє зберігати стабільність спектрального випромінювання, а також гарантує послідовність реакції фотоініціатора від партії до партії.
Лампа зберігає високу інтенсивність світіння протягом тривалого часу, тож ви можете отримувати стабільні показники енергії експозиції – тисячі годин поспіль. Електрична налаштування дозволяють точно контролювати внутрішню напругу, щоб лампа працювала без перешкод чи обмежень струму.
Чому це важливо у виробництві
Коли лампа та пристрій керування сумісні, ви можете бути впевнені у контролі процесу. Енергія експозиції залишається стабільною, критичні розміри елементів не змінюються, а кількість дефектів, пов’язаних з експозицією, зменшується.
Довгий термін служби та низьке зниження інтенсивності світіння означають меншу кількість необхідностей заміни лампи. Це також забезпечує стабільність вакууму в камері та скорочує час на технічне обслуговування. Стабільна інтенсивність світіння також забезпечує стабільність процесу зв’язування молекул, що дозволяє отримати менше дефектів на пластині та кращу адгезію матеріалів.
Крім того, ви економите енергію, адже лампа працює з максимальною ефективністю, а не під дією непідходящої кривої потужності.
Ось практичні деталі
Для правильної налаштування потрібна координація з параметрами вашого блока живлення/пристрою керування та типом роз’єму. Надайте нам модель обладнання та бажані параметри експозиції.
Ми проведемо коротку налаштувальну процедуру, щоб визначити оптимальну криву напруги та перевірити інтенсивність світіння. Можлива робота без озону, але це потребує трохи меншої інтенсивності світіння заради довшого терміну служби камери. Повідомте нам, що для вас важливіше, і ми налаштуємо лампу відповідно.