Di area litografi, kurva daya lampu yang tidak sesuai dengan spesifikasi memaksa kita untuk mengambil keputusan sulit. Kita bisa memilih untuk menggunakan daya yang lebih rendah, tetapi risikonya adalah penghasilan cahaya yang tidak cukup. Atau, kita bisa meningkatkan tegangan, tetapi hal ini akan memperpendek umur lampu. Dalam kedua situasi tersebut, kita harus membayar harga yang mahal berupa limbah, pekerjaan ulang, dan waktu henti produksi yang tak dapat diprediksi.
Kami membuat lampu UV untuk proses litografi semikonduktor yang benar-benar disesuaikan dengan spesifikasi mesin tersebut. Lampu-lampu ini dirancang sedemikian rupa sehingga cocok dengan kurva daya mesin tersebut, secara tepat.
Apa yang sebenarnya penting? Kami mulai dengan sistem arus yang stabil serta sistem reflektor yang mampu menjaga intensitas cahaya tetap konstan di seluruh area eksposur. Dengan demikian, respons fotoinisator akan konsisten dari satu batch ke batch lainnya.
Lampu ini memiliki intensitas cahaya yang tinggi dan degradasinya rendah, sehingga Anda dapat memperoleh nilai mJ/cm² yang konsisten dari jam ke jam, bahkan setelah ribuan jam penggunaan. Penyesuaian elektrikal memungkinkan kami menyetel tegangan internal agar lampu bekerja sesuai dengan spesifikasi driver mesin, tanpa adanya titik panas atau pembatasan arus.
Mengapa hal ini penting dalam produksi? Ketika lampu dan driver cocok satu sama lain, maka proses produksi akan lebih terkontrol. Energi eksposur akan tetap konsisten, dimensi-dimensi penting akan tetap terjaga, dan cacat yang terjadi akibat proses eksposur akan berkurang.
Umur lampu yang panjang dan tingkat degradasi yang rendah berarti jumlah pergantian lampu menjadi lebih sedikit. Hal ini juga membantu menjaga integritas vakum di dalam ruang produksi, serta mengurangi waktu perawatan yang diperlukan. Output yang stabil juga memastikan proses kros-linking berjalan lancar, sehingga jumlah lubang kecil di permukaan wafer berkurang, dan adhesi antar lapisan pun menjadi lebih baik.
Anda juga akan menghemat energi, karena lampu bekerja pada efisiensi yang telah ditentukan, bukan karena dipaksa untuk bekerja pada kondisi yang tidak sesuai dengan spesifikasinya.
Berikut adalah detail praktisnya: Penyesuaian elektrikal memerlukan koordinasi dengan profil balast/driver serta antarmuka koneksi mesin. Kirimkan model mesin dan rentang eksposur yang diinginkan kepada kami.
Kami akan melakukan uji coba singkat untuk menentukan kurva tegangan yang tepat serta memverifikasi intensitas cahaya di seluruh area eksposur. Operasi tanpa ozon memungkinkan, tetapi hal ini akan mengurangi sedikit intensitas cahaya maksimum, namun akan memperpanjang umur lampu. Beritahu kami apa yang paling Anda utamakan, dan kami akan menyesuaikan lampu sesuai dengan kebutuhan Anda.